заполнение V-образных изолирующих канавок поликристаллическим кремнием

izoliavimo V griovelių užpildymas polikristaliniu siliciu statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. V-groove isolation polycrystal backfill vok. Ausfüllen von V-Gräben mit isolierendem Polysilizium, n rus. заполнение V-образных изолирующих канавок поликристаллическим кремнием, n pranc. remplissage des rainures isolantes en V par silicium polycristallin, m